您好,歡迎來到萊特萊德南昌水處理設備公司!
新浪微博 | 微信關注 | 網站地圖
產品分類
相關產品
超純水設備首頁 > 水處理設備 > 超純水設備 >

多晶硅超純水設備

來源:南昌水處理設備工程公司 責任編輯:南昌水處理工程師 發表時間:2019-02-01 15:48 點擊:

  多晶硅超純水設備概述

  多晶硅超純水設備關鍵技術EDI技術與反滲透技術的有機結合,達到連續除鹽、運行維護簡單、無酸堿排放污染。多晶硅片、半導體器件等清洗過程中所需的純水需要符合國家《電子級水質標準》18.2兆歐以上,目前最有效的制水工藝就是預處理加反滲透加EDI技術工藝。超純水設備已被多晶硅清洗行業廣泛應用。

超純水設備
超純水設備

  多晶硅超純水設備技術指標

  1、脫鹽率大于99.9%,效率遠遠高于兩級反滲透和單純的離子交換。

  2、較傳統的離子交換法脫鹽節約樹脂95%以上。

  3、離子交換樹脂不需使用酸堿再生,節約大量酸堿和清洗用水,降低勞動強度。

  4、清潔生產,無廢水處理問題,利于環保。

  5、自動化程度高,易維護,可設計成完善的膜技術高純水生產線。

  6、產水電阻率15-18MΩ.cm,pH6.5-7.0,硅<1.0ppb,完全無菌。

  7、占地面積小,單一系統連續運轉,不需建設備用系統。

  多晶硅超純水設備處理工藝

  1、預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)。

  2、 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(新工藝)。

  萊特萊德公司生產的多晶硅清洗用超純水設備主要是用于清洗多晶硅,該設備具有全自動化操作,運行成本低,滿足多種工業清洗行業對水質的用水要求。

  上一篇:玻璃基板超純水設備   下一篇:沒有了